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武漢珺瑜測控技術(shù)有限公司
LS200氣浮直線位移臺

LS200氣浮直線位移臺

產(chǎn)地:比利時

? 軸承類型 空氣軸承

? 最大負(fù)載 35公斤(可定制)

? 行程范圍 200毫米(可定制)

? 最小增量運動   0.1微米

? 最大移動速度 1米/秒

? 重復(fù)定位精度 0.1微米

? 平面度 ±0.7微米

? 直線度±0.4微米

? pitch/yaw/roll:± 6urad/± 8urad/± 8urad
? 移動臺面尺寸238X248mm

? 材料 涂層鋁
? 臺體重量43Kg

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產(chǎn)地:比利時

? 軸承類型 空氣軸承

? 最大負(fù)載 35公斤(可定制)

? 行程范圍 200毫米(可定制)

? 最小增量運動   0.1微米

? 最大移動速度 1米/秒

? 重復(fù)定位精度 0.1微米

? 平面度 ±0.7微米

? 直線度±0.4微米

? pitch/yaw/roll:± 6urad/± 8urad/± 8urad
? 移動臺面尺寸238X248mm

? 材料 涂層鋁
? 臺體重量43Kg

標(biāo)準(zhǔn)線性產(chǎn)品系列包括適用于各種應(yīng)用的各種高精度線性平臺。優(yōu)化的空氣軸承設(shè)計可確保最佳的剛度,阻尼,工作負(fù)載和運行精度。無鐵芯線性驅(qū)動器和高精度光學(xué)線性編碼器帶來無與倫比的精度。由于沒有任何齒槽力或吸引力,可以實現(xiàn)非常平滑的運動和精度。

LS200采用優(yōu)化的空氣軸承設(shè)計,確保最佳的剛度,阻尼,負(fù)載和運行精度。無鐵線性驅(qū)動器和高精度光學(xué)線性編碼器導(dǎo)致無與倫比的精度。LS系列包括各種高精度線性工作臺,適用于各種應(yīng)用。
完美的解決方案
?    高性能掃描
?    光學(xué)檢測系統(tǒng)
?    超精密磨削和銑削
?    光伏系統(tǒng)
?    醫(yī)療系統(tǒng)
?    X-射線
?    激光加工
?    半導(dǎo)體行業(yè)
?    晶圓處理

產(chǎn)品規(guī)格


定制設(shè)計和工程支持
我們提供一系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,但其他尺寸或其他應(yīng)用也是可能的。我們可以靈活地設(shè)計XY平臺,門架,Z平臺或其組合。歡迎聯(lián)系我們獲取定制解決方案!