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? 行程可達(dá)10mm
? 閉環(huán)分辨率2nm
? 交叉滾子導(dǎo)軌
? 可選機(jī)械限位
? 負(fù)載可達(dá)1kg（用恒力彈簧）
? 可提供真空和無(wú)磁環(huán)境版本
ES-50PM 壓電陶瓷升降臺(tái)專(zhuān)為空間條件有限的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。ES-50PM 載物臺(tái)由獲得專(zhuān)利的多相壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)。交叉滾子軸承確保平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)和高剛度。ES-50PM 與 PPS-60、VT-50 和 PPX-50 系列線性平臺(tái)結(jié)合使用時(shí)，無(wú)需適配器支架，即可實(shí)現(xiàn)高剛性 XZ 或 XYZ 設(shè)置。能夠在真空中運(yùn)行的型號(hào) （10-9mbar） 都可用。ES-50PM 與 MMC-100 和 MMC-110 控制器兼容。
ES-50PM | |
行程(mm) | 10 |
直線度/平面度(μm) | ±4 |
搖擺誤差Pitch(μrad) | ±300 |
搖擺誤差Yaw(μrad) | ±300 |
自重（g） | 110 |
電機(jī)類(lèi)型 | Piezo Motor |
速度(mm/s) | 5 |
編碼器類(lèi)型 | None(open loop) | Analog (1 Vpp) | Digital(RS-422) |
分辨率典型值(nm) | 1 | 10 | 1 |
重復(fù)精度（雙向）(nm) | N/A | ±50 | ±50 |
重復(fù)精度（單向）(nm) | N/A | 50 | 50 |
精度(μm) | ‐ | ±1 | ±1 |
材料 | aluminum body,steel bearing | ||
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