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武漢珺瑜測(cè)控技術(shù)有限公司
RT100S氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

RT100S氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

產(chǎn)地:比利時(shí)

? 直徑100mm  

? 負(fù)載20kg  

? 角精度≤±10.3arcsec

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

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產(chǎn)地:比利時(shí)

? 直徑100mm  

? 負(fù)載20kg  

? 角精度≤±10.3arcsec

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

 RT100S多功能高精度空氣軸承旋轉(zhuǎn)平臺(tái),完美適用于小型測(cè)量設(shè)備,可作為多軸系統(tǒng)的最終?軸。輕巧緊湊的結(jié)構(gòu)是各種應(yīng)用中高動(dòng)態(tài)和精確定位任務(wù)的理想選擇。RT100S:小型封裝中最高精度的體現(xiàn)!大通孔便于滑環(huán)集成,光學(xué)或其他饋通。

應(yīng)用領(lǐng)域:
?    計(jì)算機(jī)斷層掃描
?    X-射線
?    超精密加工
?    激光加工
?    光學(xué)檢查
?    半導(dǎo)體應(yīng)用
?    醫(yī)療行業(yè)的測(cè)試系統(tǒng)
?    用于尺寸測(cè)量系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)軸
?    慣性導(dǎo)航
?    精密重力測(cè)量


產(chǎn)品規(guī)格

Rotary Stage RT100S
Max. axial load 最大軸負(fù)載 206 N
Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 78 N
Axial stiffness 軸剛性 103 N/μm
Radial stiffness 側(cè)向剛性 39 N/μm
Tilt stiffness 搖擺剛性 90 Nm/mrad
Radial error motion 端跳誤差 < 100 nm LSC
Axial error motion 軸誤差 < 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec,取決于細(xì)分比(4× ~ 20000×)
Repeatability重復(fù)精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗氣量 < 8 Nl/min
Total mass 重量 1,6 kg
Encoder 編碼器 15744 periods
Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 0,13 Nm
Peak torque 峰值扭矩 0,4 Nm
Max. speed 最大速度 200-1200 rpm
Angular accuracy 角精度 10,3 arcsec
Material 材料 coated aluminium

尺寸圖





















































































運(yùn)動(dòng)控制

該旋轉(zhuǎn)臺(tái)可配備運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán),自動(dòng)歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時(shí)產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外,圖形用戶界面將設(shè)置時(shí)間降至最低。