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產(chǎn)地:比利時(shí)
? 直徑100mm
? 負(fù)載20kg
? 角精度≤±10.3arcsec
? 端跳<100nm
? 徑跳<50nm
產(chǎn)地:比利時(shí)
? 直徑100mm
? 負(fù)載20kg
? 角精度≤±10.3arcsec
? 端跳<100nm
? 徑跳<50nm
RT100S多功能高精度空氣軸承旋轉(zhuǎn)平臺(tái),完美適用于小型測(cè)量設(shè)備,可作為多軸系統(tǒng)的最終?軸。輕巧緊湊的結(jié)構(gòu)是各種應(yīng)用中高動(dòng)態(tài)和精確定位任務(wù)的理想選擇。RT100S:小型封裝中最高精度的體現(xiàn)!大通孔便于滑環(huán)集成,光學(xué)或其他饋通。
應(yīng)用領(lǐng)域:
? 計(jì)算機(jī)斷層掃描
? X-射線
? 超精密加工
? 激光加工
? 光學(xué)檢查
? 半導(dǎo)體應(yīng)用
? 醫(yī)療行業(yè)的測(cè)試系統(tǒng)
? 用于尺寸測(cè)量系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)軸
? 慣性導(dǎo)航
? 精密重力測(cè)量
產(chǎn)品規(guī)格
Rotary Stage RT100S | |
Max. axial load 最大軸負(fù)載 | 206 N |
Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 | 78 N |
Axial stiffness 軸剛性 | 103 N/μm |
Radial stiffness 側(cè)向剛性 | 39 N/μm |
Tilt stiffness 搖擺剛性 | 90 Nm/mrad |
Radial error motion 端跳誤差 | < 100 nm LSC |
Axial error motion 軸誤差 | < 50 nm LSC |
Resolution分辨率 | <0.1arcsec,取決于細(xì)分比(4× ~ 20000×) |
Repeatability重復(fù)精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
Air consumption 耗氣量 | < 8 Nl/min |
Total mass 重量 | 1,6 kg |
Encoder 編碼器 | 15744 periods |
Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 | 0,13 Nm |
Peak torque 峰值扭矩 | 0,4 Nm |
Max. speed 最大速度 | 200-1200 rpm |
Angular accuracy 角精度 | 10,3 arcsec |
Material 材料 | coated aluminium |
運(yùn)動(dòng)控制
該旋轉(zhuǎn)臺(tái)可配備運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán),自動(dòng)歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時(shí)產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外,圖形用戶界面將設(shè)置時(shí)間降至最低。