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RT075S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
產(chǎn)地：比利時(shí)
? 直徑75mm
? 負(fù)載13.7kg
? 角精度≤±13.8arcsec
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
產(chǎn)地：比利時(shí)
? 直徑75mm
? 負(fù)載13.7kg
? 角精度≤±13.8arcsec
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
RT075S可提供所有精度和靈活性，臺(tái)面直徑75mm，負(fù)載13.7kg，端跳＜100nm，徑跳＜50nm，并以高度微型化的設(shè)計(jì)捕獲該技術(shù)。這款新型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)更輕巧，更緊湊。低高度和大通孔使該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)成為所有測(cè)量和檢測(cè)任務(wù)的全方位解決方案。RT-S系列的低調(diào)設(shè)計(jì)包含頂級(jí)空氣軸承，電機(jī)和編碼器，可實(shí)現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性。大通孔便于滑環(huán)集成，光學(xué)或其他饋通。
應(yīng)用領(lǐng)域：
? 計(jì)算機(jī)斷層掃描
? X-射線
? 超精密加工
? 激光加工
? 光學(xué)檢查
? 半導(dǎo)體應(yīng)用
? 醫(yī)療行業(yè)的測(cè)試系統(tǒng)
? 用于尺寸測(cè)量系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)軸
? 慣性導(dǎo)航
? 精密重力測(cè)量
產(chǎn)品規(guī)格
| Rotary Stage RT075S | |
| Max. axial load 最大軸負(fù)載 | 13.7 Kg |
| Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 | 5.1 Kg |
| Axial stiffness 軸剛性 | 68 N/μm |
| Radial stiffness 側(cè)向剛性 | 25 N/μm |
| Tilt stiffness 搖擺剛性 | 33 Nm/mrad |
| Radial error motion 端跳誤差 | < 100 nm LSC |
| Axial error motion 軸誤差 | < 50 nm LSC |
| Resolution分辨率 | <0.1arcsec，取決于細(xì)分比（4× ~ 20000×） |
| Repeatability重復(fù)精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
| Air consumption 耗氣量 | < 4 Nl/min |
| Total mass 重量 | 0,6 kg |
| Encoder 編碼器 | 11840 periods |
| Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 | 0,04 Nm |
| Peak torque 峰值扭矩 | 0,13 Nm |
| Max. speed 最大速度 | 300 rpm |
| Angular accuracy 角精度 | 13,8 arcsec |
| Material 材料 | coated aluminium |
產(chǎn)品圖片
運(yùn)動(dòng)控制
該旋轉(zhuǎn)臺(tái)可配備運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán)，自動(dòng)歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時(shí)產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外，圖形用戶界面將設(shè)置時(shí)間降至最低。
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